Высокоточные расходомеры играют жизненно важную роль в производстве полупроводников, особенно в критически важных системах контроля жидкости. Ниже приводится подробное обсуждение их применения:

Во-первых, важность высокоточных расходомеров

Производство полупроводников – это очень сложный и чрезвычайно требовательный к окружающей среде процесс. От очистки сырья, подготовки пластин до фотолитографии, травления, ионной имплантации, осаждения тонких пленок, упаковки и тестирования и многих других звеньев, каждый этап требует точного контроля расхода, давления и чистоты различных газов. Эти газы включают азот, кислород, водород, аргон, гелий и множество специальных газов, которые играют различные роли в полупроводниковом процессе, такие как очистка, защита, реакция, легирование и так далее. Крошечное отклонение потока может привести к дефектам продукции или даже к браку, поэтому применение высокоточного расходомера имеет решающее значение.

Во-вторых, применение высокоточного расходомера на сцене

1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
   • В этих процессах необходимо точно контролировать расход различных газов, чтобы обеспечить толщину и однородность пленки, осаждаемой на кремниевую пластину. Высокоточные расходомеры контролируют и регулируют расход газа в режиме реального времени, чтобы не допустить ни переизбытка, ни недостатка газа в процессе, тем самым обеспечивая качество продукции и производительность.
2. Очистка и сушка подложек
   • В процессе производства полупроводников пластины и оборудование подвергаются тщательному процессу очистки и сушки для удаления примесей и влаги. Высокоточные расходомеры обеспечивают оптимальную очистку и сушку, точно контролируя поток газа в процессе очистки и сушки.
3. Контроль соотношения газовых смесей
   • В некоторых специфических полупроводниковых процессах необходимо смешивать несколько газов в определенном соотношении. Высокоточные расходомеры работают совместно с контроллерами массового расхода газа для мониторинга и регулирования расхода различных газов в режиме реального времени, обеспечивая точный контроль соотношения смешанных газов в соответствии с требованиями процесса.
4. Очистка газа
   • Высокоточные расходомеры могут также обнаруживать примеси и загрязняющие вещества в газах, помогая очищать газы и обеспечивать высокую чистоту газов, используемых в процессах производства полупроводников.
5. Мониторинг утечек
   • Высокоточный расходомер может отслеживать изменения потока газа в режиме реального времени, при обнаружении аномального потока или утечки немедленно выдается сигнал тревоги, чтобы своевременно принять меры по ремонту, обеспечить стабильность и безопасность процесса производства полупроводников.

В-третьих, технические характеристики высокоточного расходомера

1. Высокая точность
   • Точность измерения высокоточного расходомера обычно может достигать ± 1% или менее от полной шкалы, эта высокая точность обеспечивает точность и надежность результатов измерения для процесса производства полупроводников, обеспечивая стабильную гарантию качества.
2. Стабильность и надежность
   • Высокоточные расходомеры обычно изготавливаются из высококачественных материалов и оснащаются сложными датчиками и контроллерами, благодаря чему они способны выдерживать тяжелые условия работы и непрерывное использование без сбоев и повреждений, обеспечивая долгосрочную стабильность и надежность работы.
3. Быстрый отклик
   • Высокоточные расходомеры имеют быстрое время отклика и могут отражать изменения в потоке газа в режиме реального времени. Это особенно важно для процессов производства полупроводников, требующих быстрого мониторинга и управления потоком, что позволяет своевременно корректировать технологические параметры для обеспечения качества продукции.
4. Универсальность
   • Современные высокоточные расходомеры обладают не только функцией измерения расхода, но и интегрированной функцией измерения давления, температуры и других параметров. Такая универсальность позволяет высокоточным расходомерам получить более полное представление о рабочем состоянии жидкостной системы.